主要功能：

在三维可测的空间范围内，能够根据测头系统返回的点数据，通过三坐标的软件系统计算各类几何形状、尺寸等测量能力的仪器几何元素的测量，包括点、线、面、圆、球、圆柱、圆锥等。

技术指标：

♦  系统分辨率：0.1μm；

♦  测量范围： 1050 x 1000 x 600 mm、最大定位速度：200mm/s;

♦  测量最大允许误差（VDI/VDE2617和ISO10360-2）：

　 轴向：E1=（0.7+L/600）μm；

　 二轴：E2=（0.9+L/500）μm；

　 空间：E3=（1.9+L/400）μm；式中：L为测量长度（mm）。

♦  光学CCD探测误差≤0.12um ，采样率≥500点/秒；光学CCD配备1X，3X，5X，10X，20X等多种高精度物镜、放大倍率：703倍、工作距离50mm、像素:756X572、分辨率:0.8um；

♦  具有X、Y、Z直线测量轴及R回转测量轴，可实现测量轴相互关联，装卡直径80mm，定位精度5秒，质心承载7.9kg/100mm，力矩：1Nm，速度：80度/秒；

♦  大型动态气浮抗震系统承载能力可达10吨(设备自重大约7690Kg)，隔振频小于2HZ，振幅3um；

♦  复合式三坐标测量机的载物平台最大承载重量：

　 玻璃工作台任意位置 50Kg；花岗岩工作台任意位置 300 Kg。

系统组成：具有光学测量系统、接触式测量系统、高精度转台系统、系统测量附件。

存放地点：一楼弱目标实验室

联系人：胡丹丹　  联系方式：029-88880176