中国科学院西安光学精密机械研究所

获奖名称:

低压、气动旋转衬底座XG2-1型MOCVD装置

获奖类别:

省部自然科学奖

获奖等级:

省级三等奖

授奖部门:

陕西省人民政府

主要完成人:

高鸿楷何益民徐瞬郭银其赛小锋

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