中国科学院西安光学精密机械研究所

成果编号:

成果名称:

获奖名称:

低压、气动旋转衬底座XG2-1型MOCVD装置

获奖类别:

市级科学技术进步

获奖等级:

市级二等奖

授奖部门:

西安市人民政府

获奖时间:

主要完成人:

高鸿楷何益民徐瞬郭银其赛小锋

登记人:

开始日期:

结束日期:

完成单位:

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