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| 作者: | Zhou, Xiaojun; Song, Aiguo; Wang, Shuai; Wang, Mengjia; Yu, Weixing | ||||||||
| 刊物名称: | MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS | ||||||||
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| 论文题目: | Fabrication of refractive silicon microlens array with a large focal number and accurate lens profile | ||||||||
| 发表年度: | 2023 | ||||||||
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