中国科学院西安光学精密机械研究所

In-plane micro-displacement measurement based on secondary diffraction

论文编号:

作者:

Liu, Shengrun; Xue, Bin; Yu, Jirui; Xu, Guangzhou; Lv, Juan; Cheng, Ying; Yang, Jianfeng

刊物名称:

AIP ADVANCES

所属学科:

论文题目:

In-plane micro-displacement measurement based on secondary diffraction

发表年度:

2023

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