中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法

英文名称:

专利号:

CN102221327A

专利类别:

G02B21/00,G02B21/14,G02B21/36,G01B9/023

专利证书号:

申请号:

CN201110110119.0

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2011-4-29

专利授权日期:

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

授权

专利摘要:

其它备注:

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