中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种干涉条纹垂直度测量方法

英文名称:

专利号:

CN102252635A

专利类别:

G01J3/45,G01B11/26

专利证书号:

申请号:

CN201110170911.5

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2011-6-23

专利授权日期:

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

授权

专利摘要:

其它备注:

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