中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

干涉仪剪切量在线检测系统

英文名称:

专利号:

CN103017906A

专利类别:

G01J3/45

专利证书号:

申请号:

CN201110300716.X

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2011-9-28

专利授权日期:

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

授权

专利摘要:

其它备注:

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