专利名称:   光学元件表面灰尘位置测试方法及装置
英文名称:  
专利号:   CN103245286A
专利类别:   G01N21/94,G01B11/00
专利证书号:  
申请号:   CN201210028688.5
第一发明人:   中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日期:   2012-2-9
专利授权日期:  
国外申请日期:  
国外申请方式:  
缴费情况:  
实施情况:   授权
专利摘要:  
其它备注:  
   

关闭窗口

返回首页