专利名称:   基于控制腐蚀的气囊式研抛装置
英文名称:  
专利号:   CN102785145A
专利类别:   B24B41/04,B24B13/01,B24B51/00
专利证书号:  
申请号:   CN201210292853.8
第一发明人:   中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日期:   2012-8-16
专利授权日期:  
国外申请日期:  
国外申请方式:  
缴费情况:  
实施情况:   授权
专利摘要:  
其它备注:  
   

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