中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种紫外光子计数积分成像探测器阳极器件的加工方法

英文名称:

专利号:

CN103779149A

专利类别:

H01J9/02,H01J9/18

专利证书号:

申请号:

CN201310538853.6

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2013-11-1

专利授权日期:

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

审中

专利摘要:

其它备注:

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