中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种利用原子层沉积技术制作微通道板功能层的方法

英文名称:

专利号:

CN104152868A

专利类别:

C23C16/52,C23C16/40,C23C16/44

专利证书号:

申请号:

CN201410363192.2

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2014-7-28

专利授权日期:

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

审中

专利摘要:

其它备注:

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