专利名称: | 位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置 | ||||||||
英文名称: | Calibration method and calibration apparatus for positioning error of position sensitive detector | ||||||||
专利号: | CN105423917A | ||||||||
专利类别: | 发明 | ||||||||
专利证书号: | |||||||||
申请号: | CN201510869406.8 | ||||||||
第一发明人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | ||||||||
申请日期: | 2015-12-01 | ||||||||
专利授权日期: | 2016-03-23 | ||||||||
国外申请日期: | |||||||||
国外申请方式: | |||||||||
缴费情况: | |||||||||
实施情况: | 审查中-实审 | ||||||||
专利摘要: | |||||||||
其它备注: | |||||||||
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