中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法

英文名称:

专利号:

CN106092302A

专利类别:

发明

专利证书号:

申请号:

CN201610443918.2

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2016-06-20

专利授权日期:

2016-11-09

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

审查中-实审

专利摘要:

其它备注:

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