中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种微通道板及在微通道板内壁制备Ni掺杂Al₂O₃高阻薄膜的方法

英文名称:

专利号:

CN109182998A

专利类别:

专利证书号:

申请号:

CN201810791167.2

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2018-7-18

专利授权日期:

2019-1-11

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

审查中

专利摘要:

其它备注:

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