中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

基于光学相干层析扫描的超快激光微孔加工方法及装置

专利号:

CN108406141A

申请号:

CN201810349624.2

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2018-4-18

专利授权日期:

2018-8-17

实施情况:

审查中

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