中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种高速摆镜性能指标检测装置及方法

专利号:

CN108181093A

申请号:

CN201810146158.8

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2018-2-12

专利授权日期:

2018-6-19

实施情况:

审查中

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