中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种降低两轴快速反射镜中X轴和Y轴耦合的控制方法

英文名称:

专利号:

ZL201910516390.0

专利类别:

专利证书号:

申请号:

CN201910516390.0

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2019-06-14

专利授权日期:

2020-05-12

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

有效

专利摘要:

其它备注:

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