中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种微尺度目标诊断设备的精密定位装置及定位方法

专利号:

CN110398714A

申请号:

CN201910696269.0

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2019-07-30

专利授权日期:

2019-11-01

实施情况:

审查中

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