中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

动态高分辨光学波前相位测量装置及测量方法

专利号:

CN111751012A

申请号:

CN202010494800.9

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2020-06-03

专利授权日期:

2020-10-09

实施情况:

审中

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