中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

用于飞秒激光加工增透微纳结构的加工头的光路系统及调试方法

英文名称:

专利号:

专利类别:

授权发明

专利证书号:

申请号:

CN202210450367.8

第一发明人:

申请日期:

专利授权日期:

国外申请日期:

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实施情况:

专利摘要:

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