中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片

专利号:

CN108398842B

专利类别:

授权发明

申请号:

CN201810350420.0

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2018-04-18

专利授权日期:

2024-01-05

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