中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

晶圆收纳盒及晶圆组件

英文名称:

专利号:

CN111710636B

专利类别:

授权发明

专利证书号:

申请号:

CN202010625188.4

第一发明人:

松山湖材料实验室 | 中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2020-06-30

专利授权日期:

2024-03-19

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

专利摘要:

其它备注:

版权所有 © 中国科学院西安光学精密机械研究所　陕ICP备05007611
地址：西安市高新区新型工业园信息大道17号　邮编：710119
技术支持：青云软件