中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种基于音圈电机驱动的大行程移相扫描装置

专利号:

CN114967115B

专利类别:

授权发明

申请号:

CN202210458453.3

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2022-04-27

专利授权日期:

2023-05-02

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