中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种基于光机热集成分析的干涉仪热稳定性优化方法

英文名称:

专利号:

CN115358132B

专利类别:

授权发明

专利证书号:

申请号:

CN202211276461.2

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2022-10-19

专利授权日期:

2023-04-07

国外申请日期:

国外申请方式:

缴费情况:

实施情况:

专利摘要:

其它备注:

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