中国科学院西安光学精密机械研究所

专利名称:

一种基于Wollaston棱镜的大口径干涉相移测量装置

专利号:

CN117470091A

专利类别:

发明申请

申请号:

CN202311420263.3

第一发明人:

中国科学院西安光学精密机械研究所

申请日期:

2023-10-30

专利授权日期:

-

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