X射线荧光单色仪用于产生各能量的单能X射线，相比于放射性同位素和晶体分光单色仪，具有射线覆盖范围大、操控灵活、造价低廉等优点，可用于X射线探测器和X射线光学的测试标定研究，以及高灵敏元素分析仪等。常规X射线管出射的X射线能谱由靶材的特征谱线和轫致辐射连续谱组成，连续谱在被测探测器或被测样品上形成背景谱线，影响探测器性能测试和元素检测的灵敏度。因此采用X射线荧光单色仪可以有效滤除连续谱影响。