报告人：赵建华 (超光滑表面无损检测安徽省重点实验室，合肥知常光电科技有限公司）

　　时间： 2020年7月17日 周五上午 10:00-11:00

　　地点：光机所南院7号楼 材料室2层西会议室

　　赵建华简介：

　　硕士毕业于中国科学技术大学，现为中国材料与试验团体标准委员会光电材料及产品领域委员会（CSTM/FC60）委员及光电检测标准化技术委员会（CSTM/FC60/TC03）秘书长。

　　报告内容简介：

　　随着超精密加工技术、精密镀膜技术的发展，光学元件性能指标不断提升，达到了前所未有的水平。这类超精密光学元件的加工和使用都对缺陷检测提出了更高的要求，传统光学缺陷检测方法因此而面临严峻挑战。

　　在精密光学元件的工程化、产业化应用中，大家开始逐步关注批量化自动检测。本报告在综述各类超精密光学元件缺陷检测技术基础上，重点介绍基于激光散射技术、光热吸收检测技术在光学元件微纳缺陷检测中的应用。激光散射检测技术检测速度快，检测灵敏度高(浅划痕缺陷宽度检测灵敏度达到50nm量级)，是一种极为有效的适用于缺陷“快速发现”的检测方法，特别是针对大口径元件，具有较为显著的优势。对缺陷实现快速发现并精确定位后，一般需要对缺陷进行进一步精确分析和评估。本报告将举例介绍在相关方面的进展，特别是对多模态缺陷检测技术的研究进展。这些技术包括光热显微成像技术，共聚焦显微成像技术，光学显微成像技术等。