“微电子制造过程检测诊断技术研讨会”在西安光机所成功举办

  20201014日下午,“微电子制造过程检测诊断技术研讨会”在西安光机所成功举办。航天电子技术研究院(以下简称“航天九院”)科技委主任赵元富,微电子技术研究所(以下简称“772所”)科技委主任权海洋,西安光机所副所长谢小平、基础科研处副处长(主持工作)刘鹏、中科院超快诊断技术重点实验室主任田进寿等参加。 

  研讨会上,谢小平首先详细介绍了西安光机所所况、科技成果转移转化等工作。随后,772所熊开利总工介绍了研究所科研方向、科研基础、科研成果、核心技术及优势领域,西安光机所高贵龙博士汇报了中科院超快诊断技术重点实验室的发展历程和定位、科研方向和条件、科研成果及核心优势领域,陈萍博士汇报了单光子探测成像器件及抗辐射加固方面的工作。参会人员就微电子制造过程检测诊断技术进行了交流与讨论。 

  随后,与会人员参观了重点实验室,对实验室技术和产品给予了高度评价。大家一致认为,在新形势下要认清形势、利用优势、加强联系,共同策划具有创新性的前沿重大项目。 

  谢小平表示本次交流十分有意义,此次交流为超快诊断技术重点实验室由基础研究向应用拓展提供了良好契机,希望后续能进行更大范围、更加具体和针对性的交流和学习。(条纹中心、基础科研处   供稿)

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